SCREEN Semiconductor Solutions和CEA Tech旗下的研究機(jī)構(gòu)Leti已加強(qiáng)合作，將在Leti的基地安裝奈秒級(jí)紫外線(UV)雷射退火LT-3100系統(tǒng)，該系統(tǒng)將由總部位于法國的SCREEN旗下子公司Laser Systems and Solutions of Europe (LASSE)提供。

SCREEN Semiconductor Solutions與Leti 擴(kuò)大合作范圍至涵蓋雷射退火技術(shù)

Leti執(zhí)行長Marie Semeria表示：「將SCREEN的奈秒級(jí)紫外線雷射退火刀具引進(jìn)到Leti先進(jìn)的前工業(yè)化設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)施中，將為現(xiàn)場部署當(dāng)前和未來科技帶來新的創(chuàng)新機(jī)會(huì)。隨著SOI、 CoolCube和奈米線科技的發(fā)展，我們?cè)陂_發(fā)新材料性能和超薄膜改性且將熱影響降至最低方面正面臨日益嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。利用LT-3100系統(tǒng)將催生帶來技術(shù)突破的解決方案，并最終帶動(dòng)業(yè)界開發(fā)實(shí)用型實(shí)物模型。」

SCREEN Semiconductor Solutions總裁Tadahiro Suhara表示：「繼長期與Leti保持成功的共同開發(fā)合作之后，我們非常高興能有此機(jī)會(huì)為Leti的生態(tài)系統(tǒng)帶來我們的雷射技術(shù)，以因應(yīng)『超越摩爾定律』(More than Moore)、物聯(lián)網(wǎng)和未來創(chuàng)新科技的需要。除了合作活動(dòng)之外，我們還將利用Leti的先進(jìn)基礎(chǔ)設(shè)施來營運(yùn)我們的LASSE歐洲示范實(shí)驗(yàn)室，從而賦予我們的客戶前所未有的示范基礎(chǔ)設(shè)施能力。我們期望展現(xiàn)奈秒級(jí)紫外線雷射設(shè)備技術(shù)和資源帶來的創(chuàng)新價(jià)值，從而在由Leti所支持的多個(gè)研發(fā)領(lǐng)域推動(dòng)半導(dǎo)體制程的開發(fā)。 」

雷射刀具可望于2017年上半年全面投產(chǎn)，并將支援多種晶圓尺寸要求，從而符合Leti實(shí)驗(yàn)室的不同需求。 (source: BUSINESS WIRE)