電源轉(zhuǎn)換、測(cè)量和控制系統(tǒng)解決方案開(kāi)發(fā)商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一款全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應(yīng)器。新產(chǎn)品推出之後，該公司旗艦產(chǎn)品Paramount RF電源供應(yīng)器系列將會(huì)有更多型號(hào)可供選擇。

全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應(yīng)器可確保Paramount 13.56MHz平臺(tái)提供高達(dá)10kW的輸出功率，能以較低的平均功率提供高能脈衝，確保脈衝功率的準(zhǔn)確性和可重複性。

Advanced Energy的電漿製程設(shè)備電源系統(tǒng)，適用於半導(dǎo)體蝕刻、介電質(zhì)蝕刻、沉積、濺鍍、離子植入等半導(dǎo)體和電漿薄膜製程設(shè)備，Paramount HP 10013沿用先進(jìn)的電漿製程電源技術(shù)，且再進(jìn)一步提升效能。

例如：Paramount HP 10013可確保Paramount 13.56MHz平臺(tái)提供高達(dá)10kW的輸出功率，這樣的好處是，能以較低的平均功率提供高能脈衝，確保脈衝功率的準(zhǔn)確性和可重複性。較高的功率則可提升電漿密度和離子能量，支援更快更深的電漿蝕刻製程步驟，並縮短沉積製程時(shí)間，滿足先進(jìn)的高深寬比蝕刻製程和新一代應(yīng)用的要求。

Advanced Energy半導(dǎo)體及運(yùn)算產(chǎn)品資深副總裁Peter Gillespie表示：「目前市場(chǎng)上的許多產(chǎn)品，包括消費(fèi)產(chǎn)品，娛樂(lè)設(shè)備、工業(yè)製品、電腦系統(tǒng)以及運(yùn)輸工具，幾乎全部都要採(cǎi)用積體電路。按照這個(gè)發(fā)展趨勢(shì)看，高精度製程設(shè)備電源系統(tǒng)的應(yīng)用將會(huì)越來(lái)越廣泛。我們的產(chǎn)業(yè)必須滿足這些不斷增加的需求，克服各式各樣的挑戰(zhàn)。Advanced Energy的Paramount產(chǎn)品系列率先採(cǎi)用脈衝射頻技術(shù)，是業(yè)內(nèi)首系列可量產(chǎn)的全數(shù)位射頻電源供應(yīng)系統(tǒng)。Advanced Energy今次推出更高功率的產(chǎn)品，讓我們的客戶可以利用創(chuàng)新的技術(shù)開(kāi)發(fā)更為複雜的三維度系統(tǒng)架構(gòu)和全新的物料。」

Paramount平臺(tái)的數(shù)位架構(gòu)可支援精確的電源管理，而且無(wú)需更換硬體便可更快將新的功能整合一起。全數(shù)位控制功能可以追蹤電漿變化作出動(dòng)態(tài)及即時(shí)的偵測(cè)，而且可以提供大功率的輸出，並確保效能的可重複性。內(nèi)建的數(shù)位介面可確保平臺(tái)與其他射頻電源供應(yīng)器同步作業(yè)，也可無(wú)縫連接Advanced Energy一系列的Navigator和Navigator II數(shù)位匹配網(wǎng)路。